西安真空离子氮化价格_*鑫焮热处理效果好_离子氮化图

       离子氮化机理有几种模型，现以阴极溅射模型为例说明其过程：将离子氮化炉抽真空(0. 667Pa)；在炉内阳、阴极（工件）间充入低压气体(如N2、NH3，压力一般小于1.33103Pa)；在两较间加直流电压(400～800V)，产生辉光放电；NH3电离形成N+、H+、e；N+、H+在电场加速下轰击工件表面，一部分离子直接渗入工件，另一部分通过离子氮化机理有几种模型，现以阴极溅射模型为例说明其过程：将离子氮化炉抽真空(0. 667Pa)；在炉内阳、阴极（工件）间充入低压气体(如N2、NH3，压力一般小于1.33×103Pa)；在两较间加直流电压(400～800V)，产生辉光放电；NH3电离形成N+、H+、e；N+、H+在电场加速下轰击工件表面，一部分离子直接渗入工件，另一部分通过阴极溅射。
        从工件表面轰击出电子及铁、氧原子元素。溅射出的铁原子在等离子区与活性氮原子结合，形成FeN，被工件表面吸收。FeN受到高温作用和离子的轰击，按FeN→Fe2N→Fe3N→Fe4N顺序分解为**氮化铁，同时析出原子氮。一部分氮原子向工件内部渗入，另一部分飞散到等离子区中，重新与溅射出的铁原子结合。上述过程反复进行，即可实现氮化。